光刻機是半導(dǎo)體工業(yè)中不可或缺的設(shè)備，它的主要功能是將掩模版上的芯片電路圖轉(zhuǎn)移到硅片上。這一過程是集成電路制造的核心環(huán)節(jié)，對于芯片的質(zhì)量和性能至關(guān)重要。光刻技術(shù)的進步直接關(guān)系到芯片制造的精度和效率，因此光刻機的技術(shù)更新?lián)Q代一直是半導(dǎo)體行業(yè)的重點。

在光刻機的搬運過程中，由于其價值昂貴且結(jié)構(gòu)復(fù)雜，需要特別小心謹慎地處理。直行搬運小坦克是搬運重型設(shè)備的機械，它能夠提供穩(wěn)定的支撐和平滑的移動。多臺直行搬運小坦克可以并行使用，通過分散負載，確保設(shè)備在搬運過程中的穩(wěn)定性，同時加快了搬運速度，提高了效率。這種搬運方式尤其適合在有限的空間內(nèi)進行精密設(shè)備的搬運，因為它可以在不損害地面或設(shè)備的情況下，實現(xiàn)精確控制和靈活操作。

精密設(shè)備光刻機搬運過程中，直行搬運小坦克起到了非常重要的作用，快速完成光刻機的移動搬運，加快設(shè)備搬運速度。